?RCA清洗機的操作方式包括手動/半自動/自動，?可清洗尺寸范圍為2吋---12吋晶圓。?設(shè)備采用槽式清洗方式，?主體材質(zhì)為鍍鋅碳鋼框架，?外包進口PP、?PVC板，?槽體材質(zhì)包括石英、?PVDF、?PTFE、?NPP等。?該清洗機具備±1℃的溫控精度，?以及多項安全防護措施，?如自動安全門、?漏液報警、?漏電保護、?液位保護、?急停、?聲光報警系統(tǒng)等。?此外，?該設(shè)備還支持模塊化設(shè)計，?滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求，?具有可編程菜單，?方便用戶操作，?實時流程顯示，?可控性強，?多級權(quán)限密碼管理，?可自動保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)，?并支持遠程控制功能。?藥液管理系統(tǒng)（?自動供液、?自動補液、?循環(huán)過濾）?、?在線加熱、?甩干、?電導(dǎo)率檢測、?恒溫系統(tǒng)、?百級FFU等也是該設(shè)備可實現(xiàn)的功能之一。
適用范圍
?適用于半導(dǎo)體材料、?集成電路、?MEMS、?LED芯片、?功率器件等領(lǐng)域。
清洗能力
6inch； 1cassette/Batch 25Pcs/cassette
產(chǎn)品優(yōu)勢
1) 操作便捷性：?半自動RCA清洗機提供了手動和半自動的操作方式，?這種設(shè)計使得設(shè)備的操作更加簡單易行。?用戶可以通過簡單的操作步驟完成清洗任務(wù)，?無需復(fù)雜的設(shè)置和調(diào)整，?從而節(jié)省了操作時間，?提高了工作效率。?
2) 成本效益：?相比于全自動設(shè)備，?半自動RCA清洗機的成本更低。?它不需要高度自動化的控制系統(tǒng)，?因此在購買和維護方面的成本相對較低。?此外，?半自動設(shè)備通常更適合小規(guī)模生產(chǎn)或特定應(yīng)用場景，?能夠在保證清洗效果的同時，?降低運營成本。?
3) 適用性：?半自動RCA清洗機適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域，?包括半導(dǎo)體材料、?集成電路、?MEMS、?LED芯片、?功率器件等。?其適用的清洗工藝包括SC-1、?SC-2、?SPM、?BOE、?超聲(兆聲)清洗、?QDR等，?能夠滿足不同材料的清洗需求。?這種設(shè)備的廣泛應(yīng)用證明了其強大的適用性和靈活性.
產(chǎn)品特點
1) 機臺電氣部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
2) 機臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
3) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
4) 工藝記錄儲存：完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細記錄存儲，便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控；程序運行記錄可定時存儲，存儲數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運行時間、報警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運行記錄；具備可寫功能；
5) 定制機械臂配有拋動功能，位置及頻率可調(diào)；
6) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護；氣體過低警報：CDA氣源有sensor壓力過低警報，多段式N2 Level sensor也有警報；Exhaust設(shè)有壓差表及I0警報，當(dāng)抽氣量不足時便Alarm;Alarm值可調(diào)整設(shè)定；DIW過低警報；
7) 機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
8) 工藝槽工作區(qū)域與機臺控制外配有安全防護裝置，防止搬運機械手對操作人員的意外損傷；
9) 溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
10) 工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
11) 整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
12) 整機采用PLC控制，顯示屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超（兆）聲低液位保護；
13) 整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
14) 整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電氣元件正常安全使用；
15) 機臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護斷路器；
16) 整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，最低處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；
17) 清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；
18) 設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
19) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
20) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；
21) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口；
22) 槽體具有換液提示功能，換液工藝參數(shù)可設(shè)定，可按照批次（by lot）也可按照時間（by time）進行換液提示，換液方式手動；
23) 設(shè)備各槽體包含robot需要能單獨切至手動模式，設(shè)備報警記錄禁止刪除，報警記錄有發(fā)生事件和報警消除時間信息包含，月日時分秒；
24) Exhaust系統(tǒng):槽體后方（酸堿排氣分開配置）
安裝及售后
i. 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。
ii. 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
iii. 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時到現(xiàn)場反應(yīng)時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時內(nèi)到達現(xiàn)場。
iv. 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。